X射線熒光光譜儀(XRF)是一種較新型的可以對多元素進行快速同時測定的儀器。在X射線激發(fā)下,被測元素原子的內層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線(即X熒光)。波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。
能量色散和波長色散X熒光光譜儀兩者之間的比較:
1、測量精度:波長色散類X熒光光譜儀有其固有的高分辨率和高精度,能提供*的穩(wěn)定性和優(yōu)良的分析精度,但對樣品的形狀和制備方法有所要求;能量色散X熒光光譜儀如果經過精心的設計和方法優(yōu)化,也可提供行業(yè)接受的測量結果,它的一個優(yōu)點是可以在不對樣品進行處理的情況下給出可供參考的數據。目前波長色散類儀器也已經國產化,同類儀器相比較,進口儀器在精度上并不占優(yōu)勢,但價格卻昂貴很多。
2、測量時間:由于波長色散配備較大功率的X光管,熒光強度高;因此,波長色散X熒光光譜儀占用較短的測量時間,便能達到較高的測量精度。
3、被測量樣品的要求:由于技術特點的差異,波長色散X熒光光譜儀需要對被測量樣品進行簡單的處理;對固體樣品的一般處理方法是將被測量樣品表面打磨光滑,對粉末和其他樣品可以采用磨細后進行粉末壓片法處理,相應的設備市場上很容易找到。能量色散型X熒光光譜儀最大的優(yōu)勢在于:可以對樣品不作特別復雜的處理而直接進行測量,對樣品也沒有任何損壞,適合直接用于生產的過程控制中;但需要強調指出的是:從熒光理論上講,被測量樣品的預先處理是必須的,對于能量色散儀器來說,我們可以采取一些技術手段進行校正來滿足實際生產控制的需要,但即使采用了技術校正的手段,對不規(guī)則樣品的直接測量也是以犧牲測量準確度作為代價的。
4、最佳應用范圍:由于波長色散和能量色散類型X熒光光譜儀各自的技術特點,兩種類型儀器所側重的應用方案也不盡相同;波長色散X熒光光譜儀具有較高的測量精度,但同時需要對被測量樣品進行簡單處理,更適用于進廠原材料、半成品、成品的精確檢測和質量控制;能量色散X熒光光譜儀雖然測量精度稍差,但具有快速、直接測量各種形狀樣品的優(yōu)點,因此可直接在生產線上用于各種部件、電子元器件的檢測。
5、能量分辨率:能量分辨率是X熒光光譜儀儀器的主要指標,分辨率數值越小,分辨率越高,儀器性能越好。
6、熒光強度:對于X熒光光譜儀來說,各元素含量與該元素的熒光強度成正比關系;熒光強度越高,則統(tǒng)計誤差越小,測量的準確度越高,儀器性能越好。
7、使用壽命:波長色散類型X熒光光譜儀的使用壽命一般為10年以上;能量色散X熒光光譜儀的使用壽命主要取決于X光管和探測器使用壽命,而使用壽命隨工作條件的不同有一定的隨機性。