利用原級(jí)X射線光子或其他微觀粒子激發(fā)待測(cè)物質(zhì)中的原子,使之產(chǎn)生熒光 (次級(jí)X射線)而進(jìn)行物質(zhì)成分分析和化學(xué)態(tài)研究的方法。在成分分析方面,X射線熒光光譜分析法是現(xiàn)代常規(guī)分析中的一種重要方法。
熒光x射線分析儀按其性能和應(yīng)用范圍,可分為實(shí)驗(yàn)室用的X射線熒光光譜儀和能譜儀、小型便攜式X射線熒光分析儀及工業(yè)上的儀器。
定性和半定量分析具有譜線簡(jiǎn)單、不破壞樣品、基體的吸收和增強(qiáng)效應(yīng)較易克服、操作簡(jiǎn)便、測(cè)定迅速等優(yōu)點(diǎn),較適合于作野外和現(xiàn)場(chǎng)分析,而且一般使用便攜式X射線熒光分析儀,即可達(dá)到目的。如在室內(nèi)使用X射線能譜儀,則可一次在熒光屏上顯示出全譜,對(duì)物質(zhì)的主次成分一目了然,有其獨(dú)到之處。
定量分析可分為兩類,即實(shí)驗(yàn)校正法(或稱標(biāo)準(zhǔn)工作曲線法)和數(shù)學(xué)校正法。它們都是以分析元素的X射線熒光(標(biāo)識(shí)線)強(qiáng)度與含量具有一定的定量關(guān)系為基礎(chǔ)的。70年代以前,數(shù)學(xué)校正法發(fā)展較慢,主要用于一些組成比較簡(jiǎn)單的物料方面;大量采用的是實(shí)驗(yàn)校正法。其中常用的有外標(biāo)法、內(nèi)標(biāo)法、散射線標(biāo)準(zhǔn)法、增量法、質(zhì)量衰減系數(shù)測(cè)定法和發(fā)射-吸收法等。70年代以后,隨著X射線熒光分析理論和方法的深入發(fā)展,以及儀器自動(dòng)化和計(jì)算機(jī)化程度的迅速提高,人們普遍采用數(shù)學(xué)校正法。其中主要包括經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法、基本參數(shù)法和經(jīng)驗(yàn)系數(shù)與基本參數(shù)聯(lián)用法等。應(yīng)用這些方法于各種不同分析對(duì)象,可有效地計(jì)算和校正由于基體的吸收和增強(qiáng)效應(yīng)對(duì)分析結(jié)果的影響。對(duì)于譜線干擾和計(jì)數(shù)死時(shí)間,也可以得到有效的校正。這些方法除基本參數(shù)法外,一般都比較迅速、方便,而且準(zhǔn)確度更高。在許多領(lǐng)域中,無論是少量或常量元素分析,其結(jié)果足與經(jīng)典的化學(xué)分析法媲美,因而在常規(guī)分析中,X射線熒光分析法和原子吸收光譜法、等離子體光譜分析法一起,并列為儀器分析的主要手段。